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納米級(jí)高速大行程壓電馬達(dá)平移臺(tái)
AU-XLS系列壓電馬達(dá)線性平移臺(tái)擁有*的特點(diǎn)。該平移臺(tái)是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達(dá)位移平臺(tái)。
該平移臺(tái)采用無(wú)聲的超聲波馬達(dá)，超聲波馬達(dá)是通過(guò)一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導(dǎo)向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動(dòng)，促動(dòng)器的變形使耦合元件相對(duì)于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對(duì)角運(yùn)動(dòng)，每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米，高頻的信號(hào)，可以使轉(zhuǎn)子高速的運(yùn)動(dòng)。因此AU-XLS系列壓電馬達(dá)平移臺(tái)的zui大速度可達(dá)到400mm/s。
理論上壓電馬達(dá)平移臺(tái)的行程僅取決于轉(zhuǎn)子的長(zhǎng)度，因此AU-XLS系列位移平臺(tái)可提供的行程范圍可達(dá)94mm，采用線性編碼器位置傳感器閉環(huán)控制，使位移平臺(tái)的位移分辨率可達(dá)到78nm，在滿足大行程的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了高的精度。由于壓電陶瓷已經(jīng)加載了預(yù)加力，因此斷電之后平移臺(tái)會(huì)有自鎖功能，使位移平臺(tái)依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產(chǎn)熱量，提高了位移平臺(tái)的精度。
此外，由于該平臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，因此該平移臺(tái)可以組成多維位移平臺(tái)，并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺(tái)。
主要特點(diǎn)：
l 大行程 （92mm）
l 高精度（78nm）
l 高速度（400mm/s）
l 支持?jǐn)嚯娮枣i
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應(yīng)用：
l 光電子學(xué)
l 掃描電子顯微鏡
l 半導(dǎo)體生產(chǎn)
l 醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)
l 生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
l 顯微鏡和計(jì)量學(xué)
產(chǎn)品參數(shù)：
AU-XLS | |
Minimum travel range | 19 mm |
Maximum travel range: | 92 mm |
Load capacity | < 1kg |
Holding / driving force | ~ 1N |
Min. step size | 500nm [standard encoder] / 78nm [precision encoder] |
Max. speed | 400mm/s |
Min. speed | 1mm/s |
Constant speed | +/- 1% at typical scan speed |
Lifespan | > 100 km (typical) |
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該平移臺(tái)采用無(wú)聲的超聲波馬達(dá)，超聲波馬達(dá)是通過(guò)一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導(dǎo)向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動(dòng)，促動(dòng)器的變形使耦合元件相對(duì)于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對(duì)角運(yùn)動(dòng)，每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米，高頻的信號(hào)，可以使轉(zhuǎn)子高速的運(yùn)動(dòng)。因此AU-XLS系列壓電馬達(dá)平移臺(tái)的zui大速度可達(dá)到400mm/s。
理論上壓電馬達(dá)平移臺(tái)的行程僅取決于轉(zhuǎn)子的長(zhǎng)度，因此AU-XLS系列位移平臺(tái)可提供的行程范圍可達(dá)94mm，采用線性編碼器位置傳感器閉環(huán)控制，使位移平臺(tái)的位移分辨率可達(dá)到78nm，在滿足大行程的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了高的精度。由于壓電陶瓷已經(jīng)加載了預(yù)加力，因此斷電之后平移臺(tái)會(huì)有自鎖功能，使位移平臺(tái)依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產(chǎn)熱量，提高了位移平臺(tái)的精度。
此外，由于該平臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，因此該平移臺(tái)可以組成多維位移平臺(tái)，并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺(tái)。
主要特點(diǎn)：
l 大行程 （92mm）
l 高精度（78nm）
l 高速度（400mm/s）
l 支持?jǐn)嚯娮枣i
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應(yīng)用：
l 光電子學(xué)
l 掃描電子顯微鏡
l 半導(dǎo)體生產(chǎn)
l 醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)
l 生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
l 顯微鏡和計(jì)量學(xué)
產(chǎn)品參數(shù)：
AU-XLS | |
Minimum travel range | 19 mm |
Maximum travel range: | 92 mm |
Load capacity | < 1kg |
Holding / driving force | ~ 1N |
Min. step size | 500nm [standard encoder] / 78nm [precision encoder] |
Max. speed | 400mm/s |
Min. speed | 1mm/s |
Constant speed | +/- 1% at typical scan speed |
Lifespan | > 100 km (typical) |
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