新機(jī)來(lái)襲!德國(guó)非接觸方塊電阻測(cè)試儀樣機(jī)預(yù)約體驗(yàn)
EddyCus® lab 2020 系列方塊電阻測(cè)試儀樣機(jī)是一款臺(tái)式實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),它采用渦流技術(shù),替代四探針?lè)桨福糜诜墙佑|式單點(diǎn)測(cè)量導(dǎo)電薄膜的金屬層厚度和方塊電阻。它能夠快速、精確地測(cè)量zui大200 x 200 mm2(8 x 8英寸)樣品,并支持多種材料,包括薄金屬層、晶圓和導(dǎo)電聚合物等材料。
非接觸式單點(diǎn)方塊電阻測(cè)試儀提供了一種現(xiàn)代、無(wú)接觸的傳統(tǒng)四點(diǎn)探頭(4PP)及其他接觸式測(cè)量方法的替代方案。無(wú)需物理接觸,無(wú)需表面準(zhǔn)備,且不受封裝或表面粗糙度的影響。
lab 2020 系列方塊電阻測(cè)試儀能夠測(cè)量多個(gè)參數(shù)。方塊電阻與金屬層厚度、發(fā)射率和電阻率相關(guān)。只要材料性質(zhì)明確,所有這些參數(shù)都可以高精度測(cè)量。

測(cè)量參數(shù):
金屬厚度(nm, um)
方塊電阻(Ohm/sq)
發(fā)射率
電導(dǎo)率/電阻率(mOhm·cm)
電各向異性(%)
重量 (g/m’) 和烘干狀態(tài) (%)
滲透性(H/m) Beta

四探針傳統(tǒng)方法對(duì)比
| 對(duì)比維度 | 四探針測(cè)試 | 非接觸電渦流測(cè)試(EddyCus) |
方案 | ![]() | ![]() |
| 接觸方式 | 觸點(diǎn)式測(cè)量,觸點(diǎn)質(zhì)量影響結(jié)果 | 非接觸式,實(shí)時(shí)無(wú)損 |
| 測(cè)量范圍 | 單點(diǎn)測(cè)量,部分支持Mapping成像 | 高分辨率Mapping成像,支持在線過(guò)程控制 |
| 對(duì)樣品影響 | 可能損壞敏感面,無(wú)法測(cè)量封裝后薄膜 | 對(duì)敏感膜無(wú)傷害或偽影,可測(cè)封裝膜層和多層膜系統(tǒng) |
| 測(cè)量類型 | 僅支持單點(diǎn)方塊電阻測(cè)試 | 支持多種膜層與系統(tǒng)測(cè)量 |
| 探頭耐久性 | 探頭隨時(shí)間磨損 | 無(wú)磨損,使用壽命長(zhǎng) |
| 適用場(chǎng)景 | 適用于部分簡(jiǎn)單薄膜測(cè)量 | 適用于觸摸型敏感層及多層膜系統(tǒng)等精密場(chǎng)景 |

Mapping圖
應(yīng)用場(chǎng)景

導(dǎo)電薄膜

觸摸面板

導(dǎo)電紡織品

智能玻璃

電池電極

各類晶圓等
樣機(jī)設(shè)備適配參數(shù)
| 基板面積 | 8 inch / 204 mm × 204 mm(三面開(kāi)放) |
| zui大樣本厚度 / 傳感器間隙 | 3 / 5 / 10 / 25 mm(由zui厚的樣本確定) |
| 方阻范圍 | 0.001 – 3,000 Ω/sq |
| 方阻準(zhǔn)確性/偏差 | ±1 – 3% |
| 方阻重復(fù)性 (2σ) | <0.3 – 3% |
金屬厚度范圍與精度 | 低:1 – 10 nm;精度 2 – 5 % |
| 標(biāo)準(zhǔn):10 – 1,000 nm;精度 1 – 3 % | |
| 高:1 – 100 μm;精度 0.5 – 3 % | |
| (精度受設(shè)置及金屬類電導(dǎo)率影響) | |
電阻率測(cè)量 | 3 mm線圈:1 – 100 mΩ·cm;精度 < 3%,重復(fù)性 < 0.3% |
| 9 mm線圈:1 – 1,000 mΩ·cm;精度 < 5%,重復(fù)性 < 2% | |
薄層電阻測(cè)量 | 3 mm線圈:0.01 – 10 Ω/sq;精度 1 – 3%,重復(fù)性 < 1% |
| 9 mm線圈:0.01 – 100 Ω/sq;精度 < 3%,重復(fù)性 < 0.3% | |
| 設(shè)備尺寸(寬 × 高 × 深) | 11.4" × 5.5" × 17.5" / 290 mm × 140 mm × 445 mm |
| 設(shè)備重量 | 10 kg |
設(shè)備控制和軟件



上海昊量光電是德國(guó)EddyCus® lab 2020 系列的中國(guó)代理商,新引進(jìn)的方塊電阻測(cè)試儀樣機(jī)現(xiàn)已開(kāi)放預(yù)約!誠(chéng)邀各領(lǐng)域研發(fā)、質(zhì)檢與生產(chǎn)單位參與體驗(yàn),親身體驗(yàn)非接觸式測(cè)量的精準(zhǔn)與高效。
體驗(yàn)時(shí)間:即日起至2026年2月10日
體驗(yàn)形式:寄樣測(cè)試(上門(mén)測(cè)試限部分地區(qū))
更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電
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